臺(tái)車(chē)爐是在半導(dǎo)體器材制造中運(yùn)用的一種加工處理設(shè)備，其包含加熱配件，接下來(lái)一起來(lái)看看小編的介紹：

　　熱處理用臺(tái)車(chē)爐結(jié)構(gòu)包括爐體、升降式爐門(mén)、臺(tái)車(chē)和運(yùn)行軌道，臺(tái)車(chē)前端設(shè)置有卡板，卡板與臺(tái)車(chē)形成“t”型結(jié)構(gòu)，卡板的后端面上設(shè)置有電源插頭和導(dǎo)向桿。

　　臺(tái)車(chē)的電氣鏈條滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置結(jié)合軌道裝置可以裝載沉重的負(fù)荷;采用鋼輪和齒桿驅(qū)動(dòng)裝置的臺(tái)車(chē)無(wú)需在爐前敷設(shè)軌道;不同拓展成為臺(tái)車(chē)爐設(shè)備的方式：輔助臺(tái)車(chē);采用駐車(chē)軌道的臺(tái)車(chē)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)適用于更換車(chē)輛并且連接多個(gè)爐子;臺(tái)車(chē)和橫向移動(dòng)裝置的電機(jī)驅(qū)動(dòng)。

　　熱處理是針對(duì)不同的作用而規(guī)劃的?？梢约訜峋约せ顡诫s劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改動(dòng)成長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài)，修正注入的損害，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。